{"product_id":"book-9791156101963","title":"포토마스크 기술","description":"\u003cp\u003e『포토마스크 기술』의 많은 부분들이 광학식 마스크와 그 지원기술들에 대해서 다루고 있지만, 몇몇 단원들은 차세대 리소그래피(NGL)용으로 개발 중인 마스크에 대해서 할애되어 있다. 차세대 리소그래피를 구성하고 있는 네 가지 주제들은 극자외선 리소그래피(EUVL), 전자투사 리소그래피(EPL), 이온투사 리소그래피(IPL), 그리고 X-선 리소그래피(XRL) 등으로, 이 책에서는 이들에 대해서 다루고 있다. 몇몇 절과 단원은 매우 기초적인 내용으로, 마스크 기술에 대한 초심자를 위한 것이다.\u003c\/p\u003e","brand":"My Store","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":48987583774972,"sku":"9791156101963","price":70.79,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0730\/4681\/9068\/files\/9791156101963.jpg?v=1776383972","url":"https:\/\/bookstore12.com\/products\/book-9791156101963","provider":"Bookstore 12","version":"1.0","type":"link"}