반도체공학(반양장)

반도체 관련 기술은 인류문명의 시작 이후 급속한 산업사회의 발전과 과학기술의 변천으로 컴퓨터와 통신, 유비쿼터스 & 센서네트워크 및 디스플레이분야 등의 산업사회와 일반 생활영역에서 필수적으로 적용되고 있다.



미래정보화 사회에서 요구하는 반도체공학에 대한 기초이론과 반도체 관련 산업분야에서 실제 연구되거나 제조되는 데이터를 근거로 반도체공학 관련 전문지식을 집필하였으며, 이는 전문지식을 필요로 하는 대학(원) 및 산업사회의 전문지식인들에게 기초부터 전문지식에 이르기까지 도움이 될 것이다.

차 례

제1장 반도체공학의 기초

제2장 산화공정 & 확산공정

제3장 포토리소그래피(Photolithography) 공정

제4장 식각공정(Etch) 및 세정공정(Cleaning)

제5장 이온주입 공정(Ion Implantation)

제6장 화학기상증착(CVD) 공정

제7장 금속(Metalization) 공정

제8장 반도체 측정(Test) 및 분석(Analysis)

엄금용