기초반도체공정
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출판사 리뷰
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목차
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제1장 반도체 재료의 발전과 진공과학의 기초
제2장 실리콘의 제조 및 전제
제3장 실리콘 다결정의 분석
제4장 실리콘 단결정의 성장 및 평가
제5장 확산에 의한 도핑
제6장 이온주입에 의한 도핑
제7장 실리콘 산화막의 형성
제8장 절연박막의 제작 및 평가
제9장 에칭
제10장 집적회로의 제조공정
부록
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제2장 실리콘의 제조 및 전제
제3장 실리콘 다결정의 분석
제4장 실리콘 단결정의 성장 및 평가
제5장 확산에 의한 도핑
제6장 이온주입에 의한 도핑
제7장 실리콘 산화막의 형성
제8장 절연박막의 제작 및 평가
제9장 에칭
제10장 집적회로의 제조공정
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저자
저자
이문희
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