3차원 측정검사 실험
반도체·디스플레이 테스트 검사용
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출판사 리뷰
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목차
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CHAPTER 01. 광학 이론
1.1 광학의 기초
1.2 빛의 이중성
1.3 파동의 중첩
1.4 결맞음
1.5 광 결맞음 단층영상 기술
1.6 산업용 OCT 검사기술
CHAPTER 02. NexMet S/W
2.1 NexMet 제품의 소개
2.2 NexMet S/W 설명
CHAPTER 03. NexMet 동작과 측정
3.1 NexMet의 시작과 종료
3.2 3D 시험검사의 측정
3.3 3D 시험검사의 분석
CHAPTER 04. 표면 거칠기의 분석
4.1 표면 거칠기의 개요
4.2 표면 거칠기의 측정
4.3 표면 거칠기의 측정 파라미터
실험편: 3D 시험검사
Section 01. 표면 거칠기 실험
Section 02. 반도체 광학검사 실험
부록편: 표면 거칠기 부록
부록 A. 표면 거칠기의 측정 및 분석 이론
부록 B. 기술 용어
부록 C. 파라미터 자료 처리
■찾아보기
1.1 광학의 기초
1.2 빛의 이중성
1.3 파동의 중첩
1.4 결맞음
1.5 광 결맞음 단층영상 기술
1.6 산업용 OCT 검사기술
CHAPTER 02. NexMet S/W
2.1 NexMet 제품의 소개
2.2 NexMet S/W 설명
CHAPTER 03. NexMet 동작과 측정
3.1 NexMet의 시작과 종료
3.2 3D 시험검사의 측정
3.3 3D 시험검사의 분석
CHAPTER 04. 표면 거칠기의 분석
4.1 표면 거칠기의 개요
4.2 표면 거칠기의 측정
4.3 표면 거칠기의 측정 파라미터
실험편: 3D 시험검사
Section 01. 표면 거칠기 실험
Section 02. 반도체 광학검사 실험
부록편: 표면 거칠기 부록
부록 A. 표면 거칠기의 측정 및 분석 이론
부록 B. 기술 용어
부록 C. 파라미터 자료 처리
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저자
저자
김현후
㈜엠젠 R&D센터 기술고문
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