반도체(2023)
중소기업 기술국산화 전략품목 상세분석
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중소기업 기술국산화 전략품목 상세 분석서이다.
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출판사 리뷰
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목차
목차
1. 반도체 리페어 장치
2. 반도체 노광 공정 장치
3. 반도체 장치 및 부품
4. 반도체 증착 장치 및 부품
5. 반도체용 특수가스
6. 실리콘 웨이퍼
7. 반도체 세정 장치 및 부품
8. 반도체 측정 분석 검사 장치 및 부품
9. 전력(파워)반도체(PowerIC)
10. 루테늄(Ru) 박막의 ALD 전구체
11. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재
12. 식각장치용 컨트롤러 및 센서
13. 반도체 이온주입기
14. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치
2. 반도체 노광 공정 장치
3. 반도체 장치 및 부품
4. 반도체 증착 장치 및 부품
5. 반도체용 특수가스
6. 실리콘 웨이퍼
7. 반도체 세정 장치 및 부품
8. 반도체 측정 분석 검사 장치 및 부품
9. 전력(파워)반도체(PowerIC)
10. 루테늄(Ru) 박막의 ALD 전구체
11. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재
12. 식각장치용 컨트롤러 및 센서
13. 반도체 이온주입기
14. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치
저자
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중소벤처기업부
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