반도체 드라이 에칭 기술
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이 책은 반도체 드라이 에칭 기술에 대해 다룬 도서입니다. 기초적이고 전반적인 내용을 확인할 수 있도록 구성했습니다.
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출판사 리뷰
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목차
목차
1장 반도체 집적회로의 발전과 건식식각 기술
2장 건식식각(Dry Etching)의 메커니즘
3장 각종 재료의 식각
4장 건식 식각장치
5장 건식식각에 의한 손상(Damage)
6장 새로운 식각기술
7장 원자층 식각(ALE)
8장 건식식각 기술의 과제와 전망
찾아보기
2장 건식식각(Dry Etching)의 메커니즘
3장 각종 재료의 식각
4장 건식 식각장치
5장 건식식각에 의한 손상(Damage)
6장 새로운 식각기술
7장 원자층 식각(ALE)
8장 건식식각 기술의 과제와 전망
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저자
저자
노지리 카즈오
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