최신 반도체공정개론

1장 인공지능 시대
1.1 인공지능(AI) 시대의 도래
1.2 인공지능의 응용
1.3 슈퍼컴퓨터의 응용
1.4 2023년 이후 인공지능(AI) 산업의 붐
1.5 물리적 인공지능
1.6 지능형 로봇 시대
연습문제

2장 반도체 산업의 이해
2.1 산업의 쌀, 반도체
2.2 반도체 기술
2.3 화합물 반도체
2.4 전 세계 반도체 시장의 현황
2.5 AI 추론 시대의 낸드 플래시 메모리의 중요성
연습문제

3장 반도체의 물리적 특성과 결정 성장
3.1 결정 격자와 단위 셀
3.2 결정 구조
3.3 반도체의 물리적 특성
3.4 결정 성장
연습문제

4장 리소그래피 공정
4.1 포토리소그래피
4.2 노광 공정
4.3 포토레지스트 공정
4.4 마스크 공정
4.5 해상도 향상 공정
4.6 기타
연습문제

5장 식각 공정
5.1 식각 공정의 개요
5.2 플라스마
5.3 실리콘 식각
5.4 유전체 식각
5.5 전도체 식각
5.6 플라스마 식각 공정에 영향을 미치는 인자
연습문제

6장 확산 공정
6.1 확산
6.2 산화 공정
6.3 증착 공정
6.4 이온 주입 공정
6.5 어닐링
6.6 실리사이드 공정
6.7 단위 공정 응용
연습문제

7장 박막 공정
7.1 박막 증착 공정
7.2 CMP
7.3 상호연결 기술
연습문제

8장 세정 기술
8.1 세정 기술의 정의
8.2 정제 과정
8.3 입자 오염 및 제거
8.4 금속 오염 및 제거
8.5 유기 오염 및 제거
8.6 기타 오염 및 제거
8.7 세정 기술 동향
연습문제

김극태