반도체 장비요소 기술공학

오늘날 우리가 살아가고 있는 일상생활 중심에 반도체가 자리 잡고 있다. 4차 산업혁명의 중심이 되는 인공지능(AI), 사물인터넷(IoT), 자율주행 자동차, 스마트 공장 등 첨단 산업의 쌀이 바로 반도체다. 반도체를 제조하기 위해서는 필수적으로 반도체 장비가 필요하다. 반도체 장비는 기계 공학, 전기 및 전자 공학, 제어 공학, 광학, 물리학, 화학, 신소재 공학 등 최첨단 기술의 집약체이다. 반도체 제조 장비는 메인 프레임에 가열 장치, 플라즈마 장치, 반송 장치, 가스 및 케미컬 공급 장치 등 여러 종류의 핵심 모듈이 장착되어 있다. 각 모듈 장치는 또한 여러 가지의 부품의 조합으로 이루어져 있다. 반도체 칩 제조 공정이 점점 미세화 되면서 제조 공정에 사용되는 반도체 장비 역시 성능의 고도화가 필수적으로 요구되고 있다. 이 책은 반도체 장비를 구성하는 핵심 모듈의 종류와 기능, 동작 원리와 이들 핵심 모듈을 구성하는 부품의 종류와 기능. 동작원리를 이해하는데 도움이 되고자 제작하였다. 반도체 장비는 지속적으로 발전하고 있지만 반도체 장비의 요소 기술의 원리는 기본적으로 동일하다. 이 책은 학생들뿐만 아니라 일반인들도 장비의 요소 기술에 대해 이해하기 쉽게 써졌다.