MEMS 기술 산업 전략: MEMS 센서를 중심으로(2021)(개정판)
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MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)는
초소형 정밀 전기기계 시스템을 뜻하며
MEMS 기술은 IT 혁명의 주역인 반도체 기술에서 나왔다
반도체 칩은 작고 좁은 면적에 수많은 전기회로를
2차원적으로 집적화한 것이다
MEMS는 반도체 칩의 제조 공정과 유사한 방식으로
각종 전자와 기계 소자들을 칩 위에 모은 개념으로
단지 반도체 칩처럼 많은 회로를 좁은 면적에
2차원적으로 얇게 집적하는 공정방식을 택한 것이 아니라
3차원 적으로 공간을 마련해 회로를
배열한다는 점에서 차이가 있다
초소형 정밀 전기기계 시스템을 뜻하며
MEMS 기술은 IT 혁명의 주역인 반도체 기술에서 나왔다
반도체 칩은 작고 좁은 면적에 수많은 전기회로를
2차원적으로 집적화한 것이다
MEMS는 반도체 칩의 제조 공정과 유사한 방식으로
각종 전자와 기계 소자들을 칩 위에 모은 개념으로
단지 반도체 칩처럼 많은 회로를 좁은 면적에
2차원적으로 얇게 집적하는 공정방식을 택한 것이 아니라
3차원 적으로 공간을 마련해 회로를
배열한다는 점에서 차이가 있다
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출판사 리뷰
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목차
목차
I. 서 론 1
II. MEMS 기술 4
1. MEMS 정의 5
2. MEMS 역사 6
3. MEMS 기술요소 10
1) 벌크 미세가공 (Bulk Micromachining Technology) 11
2) 표면 미세가공(Surface Micromachining Technology) 12
3) LIGA 공정 13
4) DRIE 미세가공 14
5) 3차원 미세가공 14
6) SOI 미세가공 15
7) 새로운 미세가공기술개발과 응용 15
4. MEMS 기술 응용 17
1) Micro Actuator (미세구동기) 17
2) Optical MEMS 18
3) RF MEMS 18
4) Bio MEMS 19
5) MEMS 마이크로폰 19
III. MEMS 센서 24
1. MEMS 센서의 특징 25
2. MEMS 센서의 전망 26
3. MEMS 센서의 응용 분야 30
1) 자동차 산업 분야 30
2) 모바일 산업 분야 32
3) 로봇산업 분야 34
4) 사물인터넷 분야 36
4. MEMS 센서 종류별 기술 전망 39
1) MEMS 압력센서 39
2) MEMS 관성센서(가속도, 자이로) 42
3) MEMS 음향센서 46
4) MEMS 초음파센서 50
5) MEMS 자기센서 52
6) MEMS 적외선센서 56
7) MEMS 유량센서 59
8) MEMS 습도센서 60
9) MEMS 가스센서 63
IV. MEMS 시장분석 66
1. MEMS 센서 시장 수요 공급 업체 분석 69
1) 수요기업 대상 분석 69
2) 공급기업 대상 분석 69
2. MEMS 센서시장 규모 및 전망 70
1) Marketsandmarkets 70
2) IHS 아이서플라이 75
3) Yole Developement 75
4) 세미코리서치 78
V. MEMS 산업 81
1. MEMS 파운드리 산업 82
2. MEMS 산업 가치사슬 85
3. MEMS 기업 동향 89
VI. MEMS 센서 산업 인프라 현황 94
1. 국외 인프라 현황 95
2. 국내 인프라 현황 96
VII. MEMS 산업 육성정책 동향 98
1. 국외 정책 동향 99
1) 미국 100
2) 유럽 101
3) 일본 102
4) 중국 103
2. 국내 정책동향 103
VIII. MEMS 산업전략 105
1. IoT & Big Data 106
2. 센서와 스마트센서 107
3. 스마트센서의 활용분야 108
1) 자동차 산업 108
2) 헬스케어 산업 111
4. 스마트 센서-MEMS의 의의 114
5. MEMS 산업의 한계와 보완점 117
IX. 결 론 120
X. 부 록 122
II. MEMS 기술 4
1. MEMS 정의 5
2. MEMS 역사 6
3. MEMS 기술요소 10
1) 벌크 미세가공 (Bulk Micromachining Technology) 11
2) 표면 미세가공(Surface Micromachining Technology) 12
3) LIGA 공정 13
4) DRIE 미세가공 14
5) 3차원 미세가공 14
6) SOI 미세가공 15
7) 새로운 미세가공기술개발과 응용 15
4. MEMS 기술 응용 17
1) Micro Actuator (미세구동기) 17
2) Optical MEMS 18
3) RF MEMS 18
4) Bio MEMS 19
5) MEMS 마이크로폰 19
III. MEMS 센서 24
1. MEMS 센서의 특징 25
2. MEMS 센서의 전망 26
3. MEMS 센서의 응용 분야 30
1) 자동차 산업 분야 30
2) 모바일 산업 분야 32
3) 로봇산업 분야 34
4) 사물인터넷 분야 36
4. MEMS 센서 종류별 기술 전망 39
1) MEMS 압력센서 39
2) MEMS 관성센서(가속도, 자이로) 42
3) MEMS 음향센서 46
4) MEMS 초음파센서 50
5) MEMS 자기센서 52
6) MEMS 적외선센서 56
7) MEMS 유량센서 59
8) MEMS 습도센서 60
9) MEMS 가스센서 63
IV. MEMS 시장분석 66
1. MEMS 센서 시장 수요 공급 업체 분석 69
1) 수요기업 대상 분석 69
2) 공급기업 대상 분석 69
2. MEMS 센서시장 규모 및 전망 70
1) Marketsandmarkets 70
2) IHS 아이서플라이 75
3) Yole Developement 75
4) 세미코리서치 78
V. MEMS 산업 81
1. MEMS 파운드리 산업 82
2. MEMS 산업 가치사슬 85
3. MEMS 기업 동향 89
VI. MEMS 센서 산업 인프라 현황 94
1. 국외 인프라 현황 95
2. 국내 인프라 현황 96
VII. MEMS 산업 육성정책 동향 98
1. 국외 정책 동향 99
1) 미국 100
2) 유럽 101
3) 일본 102
4) 중국 103
2. 국내 정책동향 103
VIII. MEMS 산업전략 105
1. IoT & Big Data 106
2. 센서와 스마트센서 107
3. 스마트센서의 활용분야 108
1) 자동차 산업 108
2) 헬스케어 산업 111
4. 스마트 센서-MEMS의 의의 114
5. MEMS 산업의 한계와 보완점 117
IX. 결 론 120
X. 부 록 122
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