반도체 공정제어(SEMICONDUCTOR PROCESS CONTROL 5대 공정 실전)

이 책이 약속하는 것
제어도 반도체도 처음인 사람이, 온오프 제어에서 출발해 P·PI·PID와 튜닝까지 스스로 익히고, 산화·식각·CVD·RTP·CMP 다섯 공정의 도면(PFD·P&ID)을 직접 읽고, AI로 파이썬 시뮬레이션을 만들어 직접 튜닝하며, 나아가 현장 실무와 진로까지 잇도록
? 이 한 권으로 끝맺도록 구성했습니다.


구성은 네 부(部)입니다. 제1부에서 제어의 근육(제어란 무엇인가 → 공정 모델 → PID → 튜닝 → 도면 읽기)을 만들고, 제2부에서 반도체와 팹을 한 바퀴 여행합니다. 제3부는 다섯 개의 실제 장비로 배운 것을 적용하는 실전이며, 제4부는 8대 공정 전체의 제어
지도와, 배운 모든 것을 꺼내 스스로 설계하는 종합 프로젝트로 마무리합니다. 어려운 캐스케이드·피드포워드·Run-to-Run은 보라색 '심화학습' 상자로 분리했으니, 처음에는 PID 한 루프만 확실히 이해하고 넘어가도 좋습니다.
각 절 끝에는 AI에게 물어볼 좋은 질문(AI 코너)을, 각 장 끝에는 스스로 채우는 빈칸 실습문제와 평가문제를 두었습니다. 파이썬 실습은 코드를 외울 필요 없이, 교재의 프롬프트를 AI에 붙여넣어 만들고 그 결과를 교재의 그래프와 비교하면 됩니다. 이 새로운
학습 방식이 여러분을 '읽어서 아는' 단계에서 '직접 해서 할 수 있는' 단계로 데려다줄 것입니다.
이 책이 반도체 공정과 제어를 잇는 첫 다리가 되어, 미래의 공정·설비 엔지니어들이 현장에서 자신 있게 손잡이를 돌릴 수 있게 되기를 바랍니다

제1부 · 제어의 기초1장 제어란 무엇인가
2장 공정의 언어 ? 이득·시상수·지연
3장 온오프에서 PID까지 ? 제어기는 왜 진화했는가
4장 튜닝 완전정복 ? Kc, τI, τD 세 개의 다이얼 돌리기
5장 도면 읽기 ? PFD·P&ID·ISA-5.1


제2부 · 반도체 입문 6장 반도체와 팹 ? 모래에서 칩까지


제3부 · 5대 공정 실전 7장 열산화로 ? 다구간 온도 캐스케이드 제어
8장 플라즈마 식각 ? 챔버 압력 제어
9장 CVD 증착 ? MFC 가스 유량 제어
10장 RTP 급속열처리 ? 초고속 온도 제어와 피드포워드
11장 CMP 평탄화 ? 압력 제어와 Run-to-Run 제어


제4부 · 통합과 진로 12장 8대 공정 제어 지도 ? 모래에서 칩까지 (심화학습)
13장 종합 설계 프로젝트 ? 나만의 미니 팹


부록 찾아보기
부록 A ? 총정리 · 튜닝표 · 학습 로드맵
부록 B ? 실습문제 정답과 풀이
부록 C ? 단위·기호 빠른 참조

황우현 동양미래대학 교수