반도체 소자 8대 공정 마스터

반도체 제조 기술을 제대로 이해하기 위해서는 공정의 원리와 순서를 익히는 것뿐 아니라, 각 공정이 어떤 소자를 구현하기 위해 필요한지 파악하는 일이 중요하다. 《반도체 소자 8대 공정 마스터》는 기존 교재에서 다루었던 제조 공정 분야에 반도체 소자 분야를 추가하여 두 영역을 함께 학습할 수 있도록 구성했다. 소자의 구조와 동작 원리를 먼저 이해하고 제조 공정을 학습하는 방식은 개별 공정의 목적과 역할을 파악하는 데 유용하다. 기존 《반도체 8대 공정 마스터》가 제조 기술을 중심으로 학습하도록 구성되었다면, 이번 교재는 소자와 공정을 연결하여 반도체 기술에 대한 이해를 넓힐 수 있다는 점에서 차별화된다.
이 책의 또 다른 특징은 약 1,500개의 객관식 문제를 통해 학습 내용을 반복적으로 점검할 수 있다는 점이다. 반도체 분야는 기초 물리 개념부터 소자의 특성, 제조 기술에 이르기까지 정확하게 이해해야 할 내용이 많다. 이론을 읽는 것만으로는 개념을 충분히 익혔는지 확인하기 어려울 수 있지만, 문제를 직접 풀어 보면 자신이 이해한 부분과 부족한 부분을 구체적으로 파악할 수 있다. 또한 초급부터 고급까지 다양한 난이도의 문제를 수록하여 학습 수준에 따라 단계적으로 실력을 점검할 수 있으며, 교육 현장의 평가 자료나 반도체설계산업기사 등 관련 자격시험을 위한 문제은행식 학습 자료로도 활용할 수 있다.
반도체 산업은 소자, 소재, 장비, 공정 등 여러 분야가 긴밀하게 연결되어 있어 특정 기술에 대한 지식만큼 전체적인 구조를 이해하는 능력도 중요하다. 이 책은 반도체 분야에 처음 입문하는 비전공자부터 관련 지식을 체계적으로 정리하려는 전공자와 예비 실무자까지 폭넓게 활용할 수 있도록 구성했다. 반도체 소자의 기본 원리와 제조 공정에 대한 이해를 함께 쌓고, 문제 풀이를 통해 이를 확인하는 학습 과정은 향후 반도체 관련 분야에서 요구되는 이론적 기초와 기술적 판단 능력을 기르는 데 도움이 될 것이다.

제1부 반도체 소자
제1장 | 반도체 물성 008
제2장 | 다이오드 022
제3장 | BJT 038
제4장 | MOSFET 052
제5장 | 전력 반도체 070
제6장 | 메모리 반도체 086
제7장 | 광 반도체 102
제8장 | 태양광 반도체 116

제2부 반도체 공정
제1장 | 반도체 기초 138
제2장 | 산화 160
제3장 | 확산 180
제4장 | 이온 주입 196
제5장 | 박막 증착 216
제6장 | 리소그래피 254
제7장 | 식각 272
제8장 | 금속 배선 310
제9장 | 소자 공정 330
제10장 | 패키징 360

최철종 (현) 전북대학교 반도체과학기술학과 교수
(현) 반도체물성연구소 소장
(전) 한국전자통신연구원 선임연구원
(전) 삼성전자 종합기술원 전문연구원(책임급)

전북대학교 반도체과학기술학과 교수로 재직하며 차세대 화합물반도체 분야의 연구와 교육을 수행하고 있다. 국가 경제와 산업 전반에 큰 파급 효과를 미치는 반도체 기술이 지속적으로 발전하기 위해서는 전문성과 실무 역량을 갖춘 인재 양성이 무엇보다 중요하다는 신념을 바탕으로, 심규환 교수와 함께 『반도체 소자 8대 공정 마스터』를 공동 집필하였다.
삼성종합기술원과 한국전자통신연구원에서 차세대 반도체 소자 및 공정 기술을 연구한 경험을 토대로, 현재는 화합물반도체 기반 전자소자의 설계·제조·특성 분석 및 응용 기술 개발에 연구 역량을 집중하고 있다. 특히 차세대 전력반도체 및 고주파·광전자 소자 분야에서 주목받고 있는 GaN 및 Ga₂O₃ 기반 반도체 소자의 물성, 공정, 계면 및 소자 특성에 관한 연구를 중점적으로 수행하고 있다.
아울러 전북대학교 반도체물성연구소 소장으로서 첨단 반도체 공정 및 분석 인프라를 구축하고, 이를 기반으로 대학과 산업체를 대상으로 다양한 연구 지원 및 분석 서비스를 제공하고 있다. 또한 반도체 산업 현장에서 요구되는 실무 역량을 갖춘 인재를 양성하기 위해, 반도체 공정과 소자 제작·분석을 연계한 체계적인 실습 교육 프로그램을 운영하고 있다.
『반도체 소자 8대 공정 마스터』가 반도체 소자와 공정에 대한 체계적인 이해를 돕고, 관련 분야를 공부하는 학생과 실무자들에게 실질적인 지침서가 되기를 기대한다.