반도체 장비 재료
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▶이 책은 반도체 장비 재료를 다룬 이론서입니다. 반도체 장비 재료의 기초적이고 전반적인 내용을 학습할 수 있도록 구성했습니다.
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출판사 리뷰
출판사 리뷰
목차
목차
제1장 금속의 결정구조와 실리콘 웨이퍼의 물성
제2장 금속의 Seal과 O-Ring
제3장 석영 튜브와 보트
제4장 Chemical 과 Gas
제5장 ESD Chuck
제6장 MASK & RETICLE
제2장 금속의 Seal과 O-Ring
제3장 석영 튜브와 보트
제4장 Chemical 과 Gas
제5장 ESD Chuck
제6장 MASK & RETICLE
저자
저자
이병철
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