반도체 공정실험
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▶ 이 책은 반도체 공정실험을 다룬 이론서입니다. 반도체 공정실험의 기초적이고 전반적인 내용을 학습할 수 있도록 구성했습니다.
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출판사 리뷰
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목차
목차
PART 1 반도체기술의 변화
1 집적화 기술
2 소형화 기술
3 투명반도체 기술
4 누설전류 해결방안
5 트랜지스터 제작 기술
6 미래 소자 트랜지스터 제작기술
7 투명기판기술
실험 1 세정
실험 2 표면조직화
실험 3 스퍼터 증착
실험 4 건식식각
실험 5 RTA 열처리
실험 6 CVD공정
실험 7 그래핀 공정
PART 2 투명반도체 분석기술
1 투명반도체 종류
2 기술적 배경
실험 8 홀측정
실험 9 XRD
실험 10 XPS
실험 11 PL과 FTIR 분석
실험 12 두께측정
실험 13 Four point probe
실험 14 금속공정
1 집적화 기술
2 소형화 기술
3 투명반도체 기술
4 누설전류 해결방안
5 트랜지스터 제작 기술
6 미래 소자 트랜지스터 제작기술
7 투명기판기술
실험 1 세정
실험 2 표면조직화
실험 3 스퍼터 증착
실험 4 건식식각
실험 5 RTA 열처리
실험 6 CVD공정
실험 7 그래핀 공정
PART 2 투명반도체 분석기술
1 투명반도체 종류
2 기술적 배경
실험 8 홀측정
실험 9 XRD
실험 10 XPS
실험 11 PL과 FTIR 분석
실험 12 두께측정
실험 13 Four point probe
실험 14 금속공정
저자
저자
오데레사
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