반도체 집적 공정
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이 책은 반도체공학에 대해 다룬 도서입니다. 기초적이고 전반적인 내용을 학습할 수 있습니다.
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출판사 리뷰
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목차
목차
지은이 머리말 iii
옮긴이 머리말 v
제1장 서 론
제2장 결정 성장
제3장 실리콘 산화
제4장 광 노광 공정
제5장 식각 공정
제6장 확 산
제7장 이온 주입
제8장 박막 증착
제9장 집적 공정
제10장 IC 제조
제11장 미래의 추세와 도전
부록
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옮긴이 머리말 v
제1장 서 론
제2장 결정 성장
제3장 실리콘 산화
제4장 광 노광 공정
제5장 식각 공정
제6장 확 산
제7장 이온 주입
제8장 박막 증착
제9장 집적 공정
제10장 IC 제조
제11장 미래의 추세와 도전
부록
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저자
저자
박재근
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