반도체 8대 공정 마스터(개정판)

반도체 산업이 국가 경쟁력의 핵심으로 떠오르면서, 반도체 공정에 대한 이해와 문제 해결 능력이 더욱 중요해지고 있다. 『반도체 8대 공정 마스터』는 단순히 개념을 암기하는 것이 아니라, 문제를 직접 풀어 보면서 이해도를 점검하고 응용력을 높일 수 있는 도서다. 특히, 반도체 제조 공정별로 문제가 정리되어 있어 원하는 부분을 집중적으로 연습할 수 있으며, 다양한 시점으로 반복되는 문제 풀이를 통해 자연스럽게 개념이 정리되며 실전 감각을 키우고 응용력을 늘릴 수 있다는 점이 훌륭하다.
24년도에 출간되었던 초판의 내용을 더 튼튼히 보강하고 문제를 대폭 추가한 이번 개정판은 공정별로 나뉜 각 장을 통해 문제를 풀며 개념을 확립하고, 실제 업무에서 발생할 수 있는 문제 해결 능력을 갖출 수 있어 반도체 관련 업계 취업을 준비하는 이들에게도 강력 추천한다.

제1장 | 반도체 기초
제2장 | 산 화
제3장 | 확 산
제4장 | 이온 주입
제5장 | 박막 증착
제6장 | 리소그래피
제7장 | 식 각
제8장 | 금속 배선
제9장 | 소자 공정
제10장 | 패키징

심규환 현재 전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정분야에 대한 강의를 위주로 해서 교육을 해오고 있다.
과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초의 구성원 이었고, 미국 유학파견기간에는 GaN 분야를 전공하여 박사학위를 취득했다. 다시 연구원으로 복귀한 후에 SiGe 반도체를 위주로 개발업무를 수행했으며, 2004년 전북대학교로 이직하여 SiGe, GaN, Ga2O3의 화합물반도체 분야에 지속적으로 집중하면서 연구와 교육을 이행하였다.
주 전공은 반도체 소자와 공정이다. 반도체의 시조이며 주축인 실리콘반도체를 포함해서 화합물반도체를 이용하여 정전기방호 소자, 광소자, 전력소자, RF 소자와 같이 다양한 소자를 설계하고 개발하는데 가장 관심이 많다.
심규환
(현) (주)시지트로닉스(SIGETRONICS) 대표
(현) 전북대학교 반도체학과 교수
(전) 한국전자통신연구원 책임연구원