국내외 플라즈마 기술산업분석보고서

I. 서론 1

II. 플라즈마의 개요 3
가. 플라즈마 정의 3
나. 플라즈마 특성과 장점 5
1) 전기적 특성 5
2) 화학적 특성 5
3) 물리적 특성 5
4) 자기적 특성 5
다. 플라즈마 보관 6

III. 플라즈마 기술 개요 9
가. 플라즈마 종류 9
1) 열 플라즈마 9
2) 저온 플라즈마 10
나. 반도체 공정 플라즈마 13
1) 플라즈마 에싱(ashing) 13
2) 플라즈마 CVD 13
3) PECVD SiN, SiO₂ 박막 15

IV. 플라즈마 시장 현황 17
가. 국내 17
나. 국외 21

V. 플라즈마 기술 현황 23
가. 플라즈마 기술동향 23
1) 국내 23
2) 국외 34
나. 플라즈마 응용 산업 현황 39
1) 반도체 산업 39
2) 디스플레이 산업 44
3) 의료 산업 44
4) 환경 산업 46
5) 농식품 산업 46
다. 특허 현황 48
1) 국내 49
2) 국외 65
3) 특허분쟁 81

VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 84
가. 국내 84
1) 한국핵융합에너지연구원(KFE) 85
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 89
3) 에이피티씨 91
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 94
5) 피에스엠 (PSM) 97
6) 기타 98
나. 국외 100
1) Plasma Ionic 101
2) relyon plasma 103
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 106
4) Nordson March 109
5) Plasmatreat 111

VII. 결론 114

VIII. 참고문헌 117

비피기술거래 시장조사전문기관으로 다음과 같은 보고서 등을 저술하였다.

4차 산업혁명을 이끌 미래인쇄전자 산업분석 보고서
국내외 게임시장 산업분석 보고서
사물인터넷 산업분석보고서
조명시장과 OLED 시장보고서
MEMS 기술산업전략보고서
반려동물 산업과 첨단 기술의 만남
방열소재 시장과 기술동향
모바일화에 따른 온라인 문화콘텐츠산업 동향
미세먼지에 관련된 국내시장에 대한 전망분석 보고서
고체산화물 연료전지(SOFC) 정책 및 시장과 개발 업체 동향, 기술현황과 사업아이템
듀얼 카메라 시장조사 보고서
전통문화의 시장 및 기술동향 전통식품
모바일 및 웨어러블 기기용 화학 등등 저술